二手 MITSUBISHI CR751-04VD1-0-S19 #9411584 待售
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MITSUBISHI CR751-04VD1-0-S19 Wafer Handler是一种高度先进的机电和化学处理设备,旨在支持各种半导体和器件生产过程。该系统的设计目的是为49个晶圆大小和厚度提供清洁和可重复的处理,从1毫升到20毫升不等。此外,该机组的运行能力高达每小时400晶圆。CR751的核心是一个集成晶圆处理程序,它包括一个完整的机器结构,用于过程自动化和可编程控制。这包括一个大型机、控制工具和一个结合了先进振动控制技术的分布式控制环路。资产能够支持最苛刻和最敏感的流程步骤。模型本身由五个主要组件组成,一个装载机、一个卸载机、一个晶圆载体、一个机械手和一个视觉设备。装载机包括一个双传送带驱动组件,使晶片能够快速轻松地装载、卸载和沿装配线移动。卸载机在设计上与装载机类似,可用于快速、方便地将晶片运进和运出清洁、对准或抛光过程。晶片载体设计用于通过生产的各个阶段安全运输和固定晶片,而机械手则用于精确对准装载带上的晶片,以确保精确装卸。视觉系统是晶片处理程序的一个关键组成部分,因为它提供了晶片在通过生产线时的精确定位。它还监测加工过的晶片的质量,以确保达到最高质量标准。CR751-04VD1-0-S19是一个高度集成的自动化晶片生产单元,具有先进的特点,保证了高精度、可重复性能和低晶片损伤。它是各种半导体制造环境的理想解决方桉,为晶圆生产提供高效、经济高效且高质量的解决方桉。
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