二手 MITSUBISHI RV-4FLC-1D1-S19 #293664134 待售

MITSUBISHI RV-4FLC-1D1-S19是一种晶圆处理器,专为半导体过程中的自动化和精确度而设计。RV-4FLC-1D1-S19配有机动机械臂组件，用于在"源"点和"目的"点之间传输晶片。机动化的机器人组件允许在没有人工干预的情况下进行精确、自动化的晶圆运输，从而降低了人工成本和潜在的处理不当。这个晶圆处理程序配备了一个集成的安全系统，允许最多32个机器人和配件的模块化扩展，而不会影响安全性。它专有的一键可编程、自动加载和卸载大大提高了生产率。MITSUBISHI RV-4FLC-1D1-S19与所有标准工艺配方兼容，允许在各种生产线上普遍实施。RV-4FLC-1D1-S19由一套集成工艺设备和数字控制系统提供动力。集成的软件程序使其能够监控和调整温度，以避免在运输过程中晶片受到任何热应力。将高精度机械手集成到其机械臂组件中，以实现晶片的安全卸载和安全定位。MITSUBISHI RV-4FLC-1D1-S19配备了运输系统，以保护晶片免受空气中粒子的污染。该系统配备了一系列光学传感器，包括激光和照相机系统，以检测缺陷。超声波传感器最大限度地提高传送带速度,最大限度地减少循环时间.从配方选择到晶圆传输的过程安全高效地确保了卓越的精度。RV-4FLC-1D1-S19在一系列半导体制造过程中具有很高的通用性和可靠性。它的智能控制算法可加快流程时间，并对每个流程参数进行可追溯的归档，以实现完全可审核性。MITSUBISHI RV-4FLC-1D1-S19还配备了I/O控制和视觉反馈系统，提供了方便的设置和操作。总体而言，RV-4FLC-1D1-S19是一个可靠、紧凑的晶圆处理系统，旨在简化和自动化半导体晶圆处理过程。