二手 MURATA CD200 #9039649 待售

MURATA CD200 Wafer Handler是一个用于半导体和平板生产应用的自动化亚微米处理和计量系统。CD200的设计目的是以最短的周期时间提供最高的吞吐量和最准确的结果。它是一个紧凑的单轴系统，可以很容易地集成到一个自动化的生产线。MURATA CD200配备了高分辨率数码相机和先进的图像处理，以识别晶圆图样、缺陷和边缘特性。机械臂可以在三维空间中非常精确地移动，以不到100纳米的精度拾取、处理和放置晶圆。CD200也被设计成具有高精度对准能力的晶圆检查和分类。MURATA CD200可以快速、准确地执行多个晶圆处理任务。这些任务包括晶圆校准、边缘检查、晶圆排序和边缘除孔。CD200与其他系统组件集成,如精确对齐和纹理映射,以提供准确的结果。也可用于应力映射、介电和金属板电阻等晶圆级测试。MURATA CD200带有一个集成的真空夹心站,用于晶圆抓握和处理。真空夹心站设有防降安全装置，确保装卸作业时的安全。CD200还包括一个工具更换器，以便快速和方便地交换晶圆处理部件。MURATA CD200的设计目的是在所有晶圆尺寸（从小到大）上提供一致的结果。CD200独特的光学计量和排序能力使其成为先进晶圆生产的理想选择。其操作范围广、精度高、可重复性高、速度高、精度高，非常适合晶圆处理应用。