二手 NADATECH 2 Stage #74165 待售

NADATECH 2 Stage是一种自动化的两级晶片处理程序,旨在为晶片传输和处理提供安全、可靠和经济高效的解决方桉。两阶段的做法可以提高吞吐量，减少污染，提高产品处理的整体可靠性。2舞台采用两级机械臂，以高达100毫米/秒的全周期速度运行。每个机器人级由无刷直流电动机驱动，控制X、Y、Z轴定位和手臂末端效应子。这些电机可实现高精度控制,并为各种环境中的稳健运行提供所需的扭矩和动力。设备通过先进的基于PC的控制系统进行控制，该控制系统可以很容易地集成到现有的工厂自动化系统中。NADATECH 2 Stage的高级设计包括内置视觉技术,使其能够定位和识别晶片,以确保晶片处理过程的准确性。自动晶圆处理程序还具有三点安装单元，以实现最终的稳定性和灵活性。晶圆交换区位于处理程序的左侧，设计用来容纳两个晶圆。可以根据大小和位置定制此交换区域,使其与不同大小的工具兼容。2舞台还拥有符合人体工程学和用户友好的直观图形用户界面。用户友好的触摸屏菜单提供了简单的分步传输和抓握控制配置。NADATECH 2级还包括一个集成真空机构，其设计提供最大的晶圆抓地力。这台真空机还能够采用防污染措施，例如使用直列式氮冲洗。2 Stage适用于广泛的行业和应用，如半导体、磁盘驱动器和MEMS生产。凭借强大的结构和可靠的性能,NADATECH 2 Stage可以轻松集成到现有系统中,也可以用作独立工具。