二手 OLYMPUS FR3200 #293830855 待售

OLYMPUS FR3200是一种全自动晶片处理系统，用于处理半导体应用中的晶片。它设计用于多种工艺，如热处理、光刻、蚀刻、抛光和封装。FR3200配备自动晶片交换、自动注入/分配,并且能够处理直径不超过8英寸的晶片。OLYMPUS FR3200配备了三轴晶圆机器人，用于精确定位和移动。晶圆交换站用于将处理程序与工艺工具连接起来。FR3200可以与可选的自动注入/分配模块接口,从而使操作员能够控制晶片加载和卸载过程,而无需手动加载或卸载晶片。这减少了加载或卸载晶片所涉及的体力劳动。它具有很高的吞吐量,在8英寸型号上每小时最多可容纳30个晶圆。晶圆处理程序设计为操作友好,具有用于导航选项和设置的大型彩色触摸屏显示屏。该显示屏包括一个实时进程监视器和一整套菜单，这些菜单用户友好导航。晶圆处理程序还会自动检查过程条件,并在过程中出现任何故障或不规则性时向操作员发出警报。OLYMPUS FR3200配备防撞传感器，既保护晶圆处理程序，也保护工艺工具免受碰撞。晶片处理器包括振动和减震器，在处理过程中保护晶片。FR3200设计用于洁净室环境,等级为1000级洁净室。它包括HEPA过滤，以确保晶片在过程中保持无污染物。此外，OLYMPUS FR3200还配有内置湿度和温度控制系统，以确保工艺的最佳条件。FR3200设计便于维护和维修。它包括可快速更换的快速释放部件和组件,从而减少维护和维修时间。它还配备了自动化的预防性维护和诊断功能,确保机器始终处于最佳运行状态。最后，OLYMPUS FR3200是一种全自动晶圆处理系统，设计用于各种半导体工艺。它具有很高的吞吐量,在8英寸型号上每小时最多可容纳30个晶圆。它配备了三轴晶圆机器人、自动注入/分配模块和防撞传感器，用于精确定位和安全。此外,FR3200设计方便维护和维修,包括内置湿度和温度控制,以达到最佳工艺条件。