二手 OPTO MICRON FX-1209 #293641315 待售
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OPTO MICRON FX-1209晶片处理程序是一种先进的机器人晶片处理设备,旨在将晶片快速准确地送入和送出工艺室。通用和模块化的设计允许添加多个组件,从而提供最佳性能和灵活性。该系统提供了多种高精度布置的配置，在操纵半导体基板方面提供了独特的可能性。FX-1209使用集成的机械臂组件构建,配置为可容纳最大500 mm直径的各种尺寸的晶片。这个晶圆处理程序由一个高精度、双轴机器人和一个比例、伺服控制器以及其他能够在X、Y和Z轴上移动的元件组成。机器人和控制器由交流主电压或可选直流主电压供电。机器人可以由用户通过直观的、基于Windows的软件包来操纵和编程。机器人手臂和控制器与工序室和其他外部系统接口，从而实现了测量、监控和控制系统的集成。其广泛的组件（如可选的视觉系统、手柄操纵器和托盘加载附件）允许针对特定的工艺要求定制解决方桉。OPTO MICRON FX-1209配备了最先进的运动控制单元,可实现高精度的定位和吞吐量。它灵活、功能强大的软件可以方便地设置、优化和监控机器的运行。此外,该工具还支持各种通信协议,以实现与其他流程系统的集成。FX-1209包含若干高级安全功能,例如ESD接地资产和安全联锁,为人员、流程和机器提供更大的安全性和保护。OPTO MICRON FX-1209晶圆处理器设计用于广泛的工艺应用,如半导体制造、平板显示器处理、LED装配和太阳能电池制造。该模型可靠可靠,是工业应用中的首选.
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