二手 PRI / EQUIPE ESC 212B #9140501 待售

PRI/EQUIPE ESC 212B晶片处理程序是一种专门为涉及晶片的精细操作而设计的半导体处理工具。机器使用精密电机、执行器和其他组件来精确、重复地处理晶片。PRI ESC 212B是一种六轴晶片处理程序,能够处理直径从2"到8",厚度从150 μ m到5000 μ m不等的晶片。机器在x、y、z和θ 1、θ 2 θ 3个方向移动晶片,以便对晶片进行精确控制和定位。此外,该机器还支持各种晶圆承载工具,包括夹具、真空卡盘和升降器。为了保持晶片的完整性，温度和湿度控制是EQUIPE ESC 212B的关键特征。该机器的温度范围在1°C至60°C之间,湿度范围在10%至80% RH之间。这允许了广泛的工艺条件，并减少了可能损坏晶片的机会。ESC 212B能够在封闭的无尘环境中同时运输多达两个晶片。该机器配有两个晶片盒式磁带，可用于单个晶片处理或双晶片处理。晶片通过空气轴承盘在盒式磁带之间运输，从而减少了颗粒污染到晶片表面的机会。该机器还具有对晶片健康状况的实时监测功能，包括粗糙度、晶体学取向和颗粒污染。这允许在晶片移动时自动进行质量控制,并确保只处理高质量的晶片。最后,PRI/EQUIPE ESC 212B晶圆处理程序设计为用户友好,具有直观的图形用户界面。这样可以快速设置机器参数,并便于在进程之间进行切换。该机还配有紧急停机按钮、反向运动传感器、联锁等广泛的安全功能，安全操作。总之，PRI ESC 212B晶片处理程序是一种精确处理晶片的强大工具。温湿度控制、晶片监控、双晶片处理、用户友好界面使其成为半导体加工的高度通用工具。