二手 PRI / EQUIPE PRE-200-CE #9304435 待售
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PRI/EQUIPE PRE-200-CE Wafer Handler是一种半自动晶片处理器,设计用于在工艺和处理设备之间移动半导体晶片。它专为8英寸和12英寸晶片而设计,非常适合在不同工具之间自动组装或传输晶片。PRI PRE-200-CE晶圆处理程序由两个机器人臂组成,它们通过机械手推车底座与两个驱动马达相连。每个机器人手臂都能够从卡带中抽取晶片,将其转移到一个处理设备,然后将晶片送回卡带。机器人臂由一个独立的控制器操作,该控制器可以编程以传输多达八个选定的晶圆。控制器还允许快速释放单个或多个晶片,以防止在处理时损坏晶片。晶圆处理器上有两个安全互锁开关,如果设备感觉不安全,将会关闭设备。这两个安全开关是:子锁和主锁。子锁位于机器人基座上,在操作设备时防止机器人手臂的任何运动。主锁位于晶片处理程序的顶部,可防止设备的任何操作。晶圆处理器具有真空系统,对晶圆产生负压,以便在转移过程中牢牢抓住和握住晶圆。还有一个磁带涂抹器,它产生真空并将释放带施加到晶片表面,以最大程度地减少转移过程中的静态积聚。EQUIPE PRE-200-CE Wafer Handler设计有许多安全措施,可以防止意外事故或损坏晶圆或环境。晶圆处理程序具有集成的紧急安全功能,可以从电源故障或设备暂停中恢复,同时保留所有进程设置。它还包括集成的EMI屏蔽、耐火排气管以及压力和温度检测机。总体而言,PRE-200-CE Wafer Handler是一种有效可靠的晶圆处理解决方桉,可以安全、准确地传输、对准和处理8英寸和12英寸晶圆。晶片处理程序具有先进和集成的安全特性,为需要快速准确传输半导体晶片而不会损坏晶片或环境的扇区提供卓越的性能。
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