二手 PRO CABIN 667 #9148224 待售

PRO CABIN 667是一款先进的晶圆处理程序,旨在在受控环境中管理和加工基板。667具有坚固的金属外壳和集成的波纹管,在运行过程中增强了污染隔离和环境保护。在单元内，电动机驱动的传递臂精确地移动基板跨越三个主要区域；输入、处理和输出。这些区域中的每一个都有可单独调节的集群，这些集群被设计用来精确地装载和卸载基板。该设备由一个独立的控制器供电，为设备的设置和管理提供了一个易于使用的接口。此外,诊断报告功能还可以轻松识别错误并快速纠正故障。开放式通信协议允许与外部设备（包括数据存储、条形码阅读器等）轻松集成和兼容。PRO CABIN 667配备了多用途升降机，可针对最佳基板处理和加工进行调整。升力由两速伺服电动机驱动，在传输和加工过程中对基板的位置提供精确控制。此外，升降机能够处理各种基材，包括晶圆、陶瓷样品、模具和装配部件。该单元还设有创新的"清洁旁路"系统，允许对清洁基板进行批量处理，而无需手动清理每一个单独的批次。旁路单元也减少了循环时间，允许增加输出处理。此外，667能够在大范围的温度范围内自动处理基板；从室温到350摄氏度。内置的温度控制机可确保温度均匀性和准确性,同时也不需要外部热电偶或探头。该工具还配备了广泛选择的感官和反馈选项，允许高度精确的过程控制。总体而言,PRO CABIN 667是以受控和高效的方式管理和处理基板的完美解决方桉。其坚固的金属外壳、精密的电机驱动传动臂、易于使用的接口以及内置的温度控制资产,即使在充满挑战的环境中也能确保优化的性能。