二手 RECIF MGI ALI6 #191000 待售

RECIF MGI ALI6晶片处理器是一种自动化晶片处理设备，设计用于先进的材料研究和半导体生产。该系统由一个高性能晶片处理机器人和一个集成晶片处理子系统组成，在各种材料过程中提供了充分的灵活性和可重复性。ALI6包括一个双臂高速铰接式机器人，总触角650毫米，全360度触角。最高转速4700毫米/秒2，定位精度0.1毫米，具备开环扭矩控制能力。它能够一次携带多达四个晶圆，空重为每晶圆3.2kg。机器人的高精度和可重复性使晶片精确地定位在工艺室上方，以获得最佳的工艺结果。晶圆处理子系统包含晶圆定向、提升和清洁功能等功能,以及软件控制的温度控制单元。这样做的目的是确保在所需设定值的+/-0.5°C内进行准确和可重复的温度控制。该机操作320mm、200 mm和150 mm直径的晶圆，能够步进和重复晶圆运动。晶圆处理子系统的最大速度为0.9 m/s，最大加速度为1G。MGI ALI6是一种创新的自动化晶片处理工具,具有独特的功能组合,专门为确保可靠和可重复的晶片处理而设计。它提供了一个高性能平台，支持广泛的材料加工和生产任务，每次都提供可重现的结果。集成晶圆处理子系统经过了短周期优化，确保了晶圆处理的快速准确，提高了吞吐量。