二手 RECIF SPP 200S #9116244 待售

RECIF SPP 200S是一种高通量晶片处理程序,它允许从2英寸晶片到200 mm晶片进行高效、准确的传输。这个工具有一个可编程的装载机和机器人，能够在任何给定的时间传输多达四个卡带。此外,SPP 200S提供自动视觉校准,以确保晶片的精确处理和传输,以及能够检查晶片方向的自动化设备,从而实现快速加载和卸载。可选的卡带传输系统可进一步实现快速晶片处理。RECIF SPP 200S有多种专门为晶圆处理而设计的工具。盒式装载机可以在自动视觉校准的帮助下将晶片从一个盒式磁带高效转移到另一个盒式磁带。位于工具顶部的机器人手臂由精密陶瓷马达提供动力，设计为快速安全地移动，每次负载最多可处理四个卡带。此外，该工具的光学传感器可以在加载和卸载过程中检测晶圆方向，从而实现更高效、更准确的处理。SPP 200S还设计有涂层密封环境等安全特性，以防止颗粒进入腔室，以及晶圆断裂单元，以保护机器人免受伤害。快速释放快门还提供了完全关闭腔室进行清洁或维护的能力，并且该工具有一个13区温控机。这样可以对晶片进行更精确的温度管理,从而确保对晶片进行一致和精确的处理。最后,RECIF SPP 200S还具有高度高级的软件工具,使操作员能够快速轻松地对该工具进行编程和监控。SPP的高级用户跟踪软件可用于跟踪腔内晶圆位置，从而方便准确地校准和跟踪晶圆处理程序。总体而言,SPP 200S是一个功能强大且易于使用的晶圆处理程序,旨在提供快速高效的晶圆处理。RECIF SPP 200S具有可编程机器人、自动视觉校准和晶圆断裂安全资产,非常适合任何数量的工业应用。