二手 RECIF SWE6M #190998 待售

RECIF SWE6M
製造商
RECIF
模型
SWE6M
ID: 190998
晶圆大小: 6"
H-Square manual single wafer elevator, 6".
RECIF SWE6M是一种晶圆处理程序,旨在使晶圆分类和处理效率很高。它以高达200 mm/s的速度执行晶圆映射、排序和处理操作。它能够取出各种尺寸从200毫米到125毫米不等的晶片。该机器人具有高度精确的3轴级,分辨率为0.5um,可重复性为0.3um。剪刀升降机和XYZ级的组合使这种机器人在晶圆处理任务上具有很大的灵活性和准确性。SWE6M配备了6轴机器人手臂,非常适合各种任务,从高速物料运输到精确的细粒处理。手臂是完全可编程的,包括安全防护,以防止损坏晶圆.它还耐高温级(最高140 °C),以确保清洁高效的晶圆处理。不仅是为速度和精度而设计的机器人,它还有一个直观、人性化的界面,带有LED灯,可以指示不同类型的进程。这个用户友好的界面可以方便地定制机器人的操作和维护。它还具有模块化设计,允许与其他现有系统和模块进行无缝集成。RECIF SWE6M具有多种附加功能,非常适合晶圆处理。其中包括优化晶片批次装卸的自动加载机制;用于在等待处理过程中存储晶片的检索系统;一个视觉系统,可以检查晶圆特性的任何错误。此外,它还提供了可追踪性和扩展统计等高级功能,以做出更好的决策。SWE6M的设计有利于优化晶圆分选和处理操作。凭借其高速3轴级和6轴机器人臂,能够实现前所未有的晶圆处理任务精度和灵活性。其用户友好的界面和模块化设计使其成为任何希望使其分类和处理过程更轻松、更高效的设施的理想选择。
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