二手 RENA WTS Distribution #9190348 待售

RENA WTS Distribution是一种高精度晶片处理程序，旨在以高精度和重复性传输薄而易碎的晶片。它提供多种功能，包括多功能机器人臂、独立运输设备和晶圆预对准器。机器人手臂采用先进的三轴系统，在三维空间中达到载荷点。独立的运输装置是专门为确保晶圆处理的最大安全和速度而设计的，不会影响精度。集成晶圆预对齐器可以在处理前独立检查、调整和对齐每个晶圆。WTS Distribution可以处理直径不超过300 mm的晶片,并且能够在大批量生产环境中以精确和可重复性将晶片传输到1200mm/s的最大速度。机器人手臂有一个可调的底夹，可以很容易的调整执行器的压力所需的清洁拾取和移动晶片。其集成视觉机能够一步步检测晶片位置和检测缺陷，提高了整体生产效率。除了处理功能外,RENA WTS Distribution还提供高级过程控制功能,用于复杂的晶圆处理。其直观的用户界面使得编程变得容易，具有程序内存、储存量、多语言支持、配方加载、用户级密码等多种功能。该工具还具有超精确运动控制器，它使用PID控制算法来准确地遵循预编程指令。WTS Distribution能够容纳多种晶圆材料，包括硅、陶瓷和蓝宝石。该资产设计为在各种洁净室环境中运行，具有可旋转的晶圆盒式磁带和针对不同高度的快速可调性。它具有运动报警、总计数检测、气压检测等监控功能，提供安全可靠的处理流程。其全面的设计有助于减少停机时间，最大限度地减少操作员错误，最大限度地提高晶圆处理精度。