二手 RORZE 68RR8151-002-101 #293635474 待售

RORZE 68RR8151-002-101 Wafer Handler是为200 mm和300 mm半导体制造工艺设计的自动化晶圆处理设备。它有一个多层次的设计，允许处理多个盒式磁带或FOUP（前开统一吊舱）和单元，以及半导体的转移和定位。68RR8151-002-101配备了CCD摄像头、X和Y高速同步运动平台、高精度定位系统和具有防撞功能的机械臂。高精度定位单元采用桨叶托盘，确保晶圆对准和定位精度极高。机器人手臂沿着X轴和Y轴移动，拿起带有真空吸盘的晶片，放在盒式磁带中。RORZE 68RR8151-002-101每小时最多可处理60个晶圆,最大晶圆大小为150 mm x 150 mm。它有一个灵活的安装机器，使它能够安装在不同的方向。该工具设计为与各种生产线兼容，可以与其他RORZE晶圆处理程序（如RORZE 68RR6003）结合使用。68RR8151-002-101配备了一系列复杂的预防和检测功能,例如用于检测真空的压力传感器、用于监视晶圆高程的升力传感器和用于检测未对准晶圆的倾斜传感器。压力传感器监视吸头的真空压力，而升力传感器监视晶圆的位置。倾斜传感器用于检测晶圆传输过程中可能发生的任何未对齐情况,并在发生任何未对齐情况时向用户发出警报。RORZE 68RR8151-002-101还具有用于计算机控制的接口和易于使用的用于配置和维护的GUI。这确保了操作员可以轻松地设置和维护资产，以及监控其运行。综上所述，68RR8151-002-101是一种专为半导体制造应用而设计的功能强大的晶圆处理模型。它的可靠性、准确性和速度使其成为任何希望改进半导体制造工艺的半导体工厂的绝佳选择。