二手 RORZE 68RR8151-002-101 #9188460 待售
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ID: 9188460
Wafer transfer station
(12) Axes of motion
(4) Transfer stations
Robot Module: RORZE RR701L1211-3A3-111-1
Dual-arm
No hands installed
Robot controller: CURR-1480-0
Linear axis: RORZE RT107-1201-002
IKO Model: TSL220-1200A/S20E558
Included:
KEYENCE BL-741c
Safety light curtain TAKEX SS20 wide sensor
RORZE RD-023MS Step drivers
RORZE RS-114A Sensor mates
RORZE RC-233 Generate masters
RORZE CURT-0661-2
RORZE RE120-002-001
NEMIC LAMBDA EWS600P Power supply
Power: 200VAC, 1Phase, 50/60Hz, 20A.
RORZE 68RR8151-002-101晶圆处理器是一种高度先进的机器人处理器,设计用于生产半导体器件。该装置包括一个集成控制器和两个精密机械臂,以及一个晶片加载机构和一个光学传感器,用于监测晶片分配过程的状态。机器人手臂被设计成能够独立和准确地传输晶片,可以以最小的操纵力进行极其精确的传输。它们也有360度的运动范围,因此可以到达晶圆处理托盘的所有区域。集成控制器在内部开发的软件上运行,该软件允许手动和自动操作,并且能够编程以重复许多不同的预编程操作场景。它还具有图形用户界面、外部信号输入和用于同步的脉冲输出。控制器还支持模拟信号输入,以精确控制机器人手臂的旋转速度和加速度。在晶片配位方面,该装置采用晶片加载机构和光学传感器,以提高晶片配位过程的精度。它配有监视器,可以清晰显示晶片的加载位置,并确保正确操作。集成控制器还允许用户根据需要手动调整晶圆的分配速度。机器人臂与晶片之间的受力由受力装置调节,提高了传递过程的精度和可靠性。机器人臂还具有一个气缸(用于在较小的晶片上更有效的操作)和一个集成的真空杯系统(用于较大晶片更精确的转移)。68RR8151-002-101晶圆处理器是非常可靠和高效的,使其成为一个非常有效的半导体生产工具。结合其用户友好的界面、精密的机械臂和集成的控制器,RORZE 68RR8151-002-101是一种尖端的晶圆处理解决方桉。
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