二手 RORZE ACE 300 #9250463 待售

RORZE ACE 300是专门为半导体及相关行业的高性能200 mm晶圆处理和处理而设计的晶圆处理器。它具有最先进的两轴伺服电机驱动设备,可最大程度地减少噪音和振动,并在操作200 mm晶片时提供卓越的精度。双轴驱动系统由线性Y轴和高速旋转X轴各自独立运行组成。ACE 300高可靠性，高精度高达+/-0.8微米。它可以容纳直径从150毫米到300毫米不等的晶圆，最大晶圆旋转速度为每秒300度。晶片牢固地安装并支撑在相对的两侧,从而最大程度地减少了运动过程中的滚子和间距分流器。处理程序还配备了一个安全快门单元，防止任何晶片被置换，直到是时候将它们释放到机器中。这样可以确保晶片的加工准确、安全。它还采用了先进的多区真空控制器进行晶圆预对准。此外，它还有一个内置的晶圆预对准夹具，可以方便地手动加载和卸载晶圆，最大限度地减少在加载上花费的时间和精力。该夹具可以很容易地针对不同类型的晶片进行调整和优化。RORZE ACE 300非常直观和用户友好，包括图形触摸屏显示和用户友好界面。这使得运算符对用户定义的参数进行编程并监视进程的每个步骤非常方便。它可以用非常高效和准确的方式处理和加工200毫米晶圆。