二手 RORZE EFEM #9148543 待售

RORZE EFEM是一款最先进的晶圆处理器，旨在满足半导体制造商的需求。机器人设备具有移动机器人手臂和真空吸力装置，用于精确的晶圆处理。它是一个全自动系统,专为高精度放置晶片而设计,可实现比以往更快、更准确的高效工作流。EFEM单元包括四个主要组成部分：机器人臂、机器人控制器、视觉摄像机单元和真空吸头。机器人手臂装有用于精密晶片装卸的内置力传感器。它还具有以每分钟180个周期的速度拾取和放置多达6英寸晶片的能力。机器人控制器是一个精密的机器，有几个先进的程序和选项，以实现灵活和精确的晶圆放置，以及数据收集和监控。视觉摄像机单元利用高清摄像机在过程中有效检测和监控晶片。真空吸盘设计用于安全、准确地拾取晶片而不会损坏晶片。RORZE EFEM除了具有快速、精确地处理晶片的能力外,还提供了一些进一步提高工艺效率的功能。它具有内置的吹路检测工具，可以检测晶圆表面上模煳的图像，以及视觉对准资产，以获得准确的结果。此外,它还能够检测未对准的部件并执行自动校正。EFEM旨在支持业界最严格的制造要求。它符合CE标准并经过测试,以确保一致的高性能结果。此外，该单元还配备了集成减震器，以尽量减少振动，最大限度地提高晶圆放置工艺的精度和精度。总体而言,RORZE EFEM是一款高度先进的自动化晶圆处理器,能够精确、快速地执行操作,以满足当今半导体行业的需求。其先进的组件和自动化的解决方桉使它能够超出预期，使其成为高效、精确的晶圆处理的绝佳选择。