二手 RORZE EFEM #9255471 待售

RORZE EFEM是为半导体加工而设计的下一代晶圆处理平台。它结合了最先进的组件、高端自动化和多用途的控制功能,提供出色的用户体验。EFEM系统包括加载/卸载阶段、晶圆阶段和传输阶段。装卸级有两台电动机位于表的每一端附近，从而使晶片能够从存储载波中高效准确地运输。它还具有检测晶片存在的位置传感器和增强性能的视觉系统。晶片级由一个精密电动机和一个用于控制驱动主轴的旋转螺线管和一个用于固定晶片的卡盘组成。它具有高速旋转和振动的能力，一次最多可容纳8个晶圆。转移阶段包含两个爪单元，能够将晶片从一个阶段快速准确地转移到另一个阶段。此外，RORZE EFEM还包括一组复杂的控制功能。它具有直观和易于使用的用户界面，图形显示提供有关晶圆位置和状态的实时信息。它还包括PID控制，允许用户为晶圆级和传递级的速度、压力和扭矩设置特定的目标值。该系统可以使用各种命令和参数进行编程以获得最佳性能,并且最多可以存储30种配置。最后,EFEM是为安全运行而设计的,考虑到安全性和可靠性.它具有多种安全系统，包括门开关、安全绳和晶圆检测传感器。它也被设计成尽量减少振动和防止损坏晶片。RORZE EFEM在晶圆处理方面提供卓越的性能,为高效半导体处理提供了卓越的自动化水平。它将最先进的组件与复杂的控制功能结合在一起,为高级用户体验提供了易于使用和安全的操作。