二手 RORZE MZ8-2HRSC101-004-02 #293597144 待售

RORZE MZ8-2HRSC101-004-02
ID: 293597144
EFEM Wafer handling Power supply / Controller: 3W01169-11.
RORZE MZ8-2HRSC101-004-02是为生产级自动化应用而设计的高性能晶圆处理程序。处理程序的高效设计及其重型结构提供了可靠准确的处理能力。MZ8-2HRSC101-004-02具有高扭矩、直流直流伺服电机的驱动机构。这提供了高加速度、平滑的输出以及索引操作过程中最小的残余振动,有助于保证高吞吐量和运动的重复性。此外,驱动机构采用编码器反馈系统和内置离合器加速器,用于精确的索引和粗糙的定位能力。这进一步有助于为最终用户提供更准确的索引。处理程序还包括一个自动对准功能,由位于处理程序板底部附近的四组高精度双压电驱动对准传感器实现。传感器提供晶片的高精度对准,不需要手动对准晶片。RORZE MZ8-2HRSC101-004-02还具有旋转木马加载接口。该系统的设计使多达15个晶片可以一次加载到处理程序中,从而减少了加载时间,并有助于提高自动化项目的效率。处理程序还可以处理直径从4英寸到12英寸不等的晶圆尺寸。MZ8-2HRSC101-004-02也非常可靠。机电零件经过设计,可承受高速和较长的使用寿命。此外,处理器集成的高精度零件及其高效的设计使其能够用于需要高精度和重复性的工厂和生产线。总体而言,RORZE MZ8-2HRSC101-004-02是为生产级自动化应用程序设计的高性能晶圆处理程序。处理程序的高效设计、耐用的构造、集成的对齐和加载功能,以及它与多个晶圆尺寸的兼容性,使MZ8-2HRSC101-004-02成为一系列晶圆处理解决方桉的理想解决方桉。
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