二手 RORZE RR304L90-514-001 #9143214 待售

RORZE RR304L90-514-001是一种先进的晶圆处理设备,旨在帮助简化复杂的半导体处理任务。该单元由一个机器人部件处理系统、一个自动晶片定向臂、一个XY传输表以及一个用于抓握、携带、转移和装卸晶片的端效应器组成。这台精密机器是专门为处理稀有或多级载波而设计的，与预期晶圆方向和尺寸的偏差最小。机械零件处理单元由伺服控制单元、电动零件进纸器和装有EOAT（臂末工具）的机械臂组成,可有效地将晶片从零件进纸器抓取并移动到相关的加工站。机动化零件进纸器包含要装入机器的零件,并具有用于检查零件是否正确装入的传感器和装入/卸下零件的闸门。对先进的机械臂进行编程，使其能够准确、精确地将晶片定位到其加工站，并拾取先前加工过的晶片用于后续处理步骤。这种具有特色的自动晶片定向臂的设计目的是在不影响晶片尺寸或形状的情况下，以90°方向的精确增量检测和旋转晶片。通过保持晶片与其设计的加工方向正确对齐,进一步帮助优化每个加工站的加载时间。XY传输表设计用于将运输的晶片移动到其他加工站,如稀释、抛光或焊接。这提供了一定程度的精确度和控制,这对于多级或稀有级设备尤其需要。末端效应器是工具的最后一块，用于在移动过程中抓握晶片，将晶片运送到加工站，在工作站之间转移，并从设备上装卸加工后的晶片。总之，RR304L90-514-001是一种坚固可靠的晶圆处理资产，能够精确地解决复杂的半导体加工难题。机械臂和终端效应器使多个运载工具能够以安全的方式准确地运输到各自的加工站，而自动定向臂和XY运输表则为多级设备提供了必要的对准和定位。该装置旨在确保晶片的精确处理,同时最大限度地减少缺陷率,从而帮助提高半导体产品的吞吐量。