二手 RORZE RR312S250-121-001 #9396401 待售
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RORZE RR312S250-121-001 Wafer Handler是一种机器人设备,设计用于运输和去除易碎的半导体材料,包括用于微电子芯片制造的硅片。该系统由一台底座、两台晶圆电机、两台用于垂直运动的升降机和一台输送带电机组成。它设计用于处理最大重量250公斤的200毫米方形或圆形晶片。该单元的基座由铝合金构成,为机器人运动提供了非凡的稳定性和广阔的工作区域。底座还配备了平整稳定的可调腿、冷却风扇和电源模块。其坚固的结构保证了最小的振动和低噪声操作。这两个晶圆电机可以精确定位机器内的晶圆。它们配备了应变计力传感器,以检测任何晶圆打滑、卡住或粘住。电机可以预先编程,在3D空间内移动晶片,以及旋转和倾斜晶片。这两个起重器有助于晶圆的垂直运动。这些是电动的,结合了位置感应技术和编码器反馈,以确保晶片保持在电动机上方所需的高度。可调节的反平衡弹簧机使起重机保持在适当的位置,并防止在操作过程中受到冲击。传送带马达设计用于将晶片移动到所需的位置。采用全闭环伺服反馈工具,保证晶片运动平稳可靠。输送机电机还配有导轨资产,方便晶圆的可逆运动。RR312S250-121-001 Wafer Handler可靠可靠,可确保最小的停机时间和最高的效率。其精密的结构和广泛的特点使其非常适合用于生产精密的微电子器件,在这些器件中需要很高的精度和精确度。
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