二手 RORZE RR466L300-111-002 #293603101 待售

RORZE RR466L300-111-002是为多级自动化而设计的高度敏感的晶圆处理程序。它有一个新颖的设计，使其能够在200毫米到300毫米的直径范围广泛的晶圆的工作。它具有双轨样式设计，允许操作员将晶片移动到三个平面（X、Y和Z）中的不同位置。这可以通过两个独立的电机驱动级实现,这些级提供精确、平稳的运动,甚至可以完成复杂的任务,如多步骤自动处理过程。晶圆处理程序还具有两级和机械臂的集成设计，提供灵活性、精确度和提高速度。该单元的工作面积约为450mm × 200mm，配有视觉系统等各种传感器以确保最佳放置，RFID传感器以识别晶片，真空板以确保精确定位。此外,RR466L300-111-002集成组件还具有在运动过程中保护晶片的防震系统、可调节刚度和阻尼的离合器以及易于转换的功能。在安全和维护方面,RORZE RR466L300-111-002拥有一系列复杂的功能。该设备具有直观的用户界面,允许进行简单的设置和故障排除。为了进一步提高安全性和准确性，晶圆处理程序配备了内置的预防系统。此功能首先检测错误或不规则性,然后应用"安全停止"序列以防止发生潜在事故。该系统还具有内置的诊断和维护功能，便于维修和重新配置。RR466L300-111-002为大型自动化系统提供了极好的易用性、维护和安全性。其先进的工程和组件确保了较长的使用寿命和优化的性能,而直观的用户界面允许轻松设置和故障排除。RORZE RR466L300-111-002具有多种功能,非常适合研究实验室和工业制造商。