二手 RORZE RR701L 1211-3A3-111-1 #9110996 待售

RORZE RR701L 1211-3A3-111-1
ID: 9110996
Robot P/N: RA01969.
RORZE RR701L 1211-3A3-111-1是一种半导体晶圆处理设备。它是专为精密晶圆传输而设计的高精度机械臂,可提供三轴控制。该系统由机器人臂、晶圆传递装置和控制柜三个主要部件组成。机器人手臂由高度精确的刚性钢轨和机械联动单元组成。机器人手臂最多支撑三个自由度,并允许机器人手腕的受控定位。手腕允许在角度、俯仰和偏航方面进行调整。晶圆传输设备用于传输、传输和拾取单个晶圆。传输装置包含两个平行夹具,用于在传输和传输操作期间将晶片固定到位。夹具提供了一些振动阻尼,以及以90度增量快速旋转整个晶片的能力。控制柜包含了整机的主要部件,包括电源输入、电机的布线、运动控制器、PLC、真空源、操作员面板以及许多外围控制装置。所有这些组件的设计使得工具可以协调机器人手臂和晶圆传递装置的运动。RR701L 1211-3A3-111-1通过组合运动实现自动晶圆处理。机器人臂可以在其受控工作区内水平和垂直方向移动晶片,精度非常精确。它还可以以90度增量的水平旋转晶片,使得晶片方向的快速变化成为可能。晶圆传输装置还提供了一种安全有效的方式,可以移动晶圆并将其转移到适当的位置,而不会以任何方式损坏或污染晶圆。一旦设置和配置,RORZE RR701L 1211-3A3-111-1资产将有效地运行,以便在各种应用程序中传输和拾取单个晶圆。它在从小规模生产到大规模生产的不同类型的系统中提供可靠和可重复的操作。该模型非常用户友好,可以由一个人以极少的训练轻松操作,使其成为自动晶圆处理的绝佳工具。
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