二手 RORZE RR717L1521-3A6-231-2 #9206455 待售

RORZE RR717L1521-3A6-231-2是一个半自动晶圆处理程序，专门运输高达600mm的300 mm晶圆。它设计用于半导体行业的洁净室和其他高纯度空气环境。RR717L1521-3A6-231-2的核心是一个综合机械设备，负责以精确的运动、方向和速度处理和运输晶圆，以及一个操作功能的自动化电气控制系统。机械单元由两个直线升降机、一个垂直升降机、一个水平升降机、两个XYZ轴级和两个端效臂组成。此组件采用不锈钢框架,提供坚固可靠的运输设备。直线升降机负责将晶片传输至600mm的高度,而垂直升降机则满足端效应器必须穿越的较低高度。它们由三个步进电机驱动。由旋转电动机驱动的XYZ轴级在晶片的运输和采摘/放置过程中提供了端部效应器的精确运动和方向。为个别功能而设计的终端效应器臂允许同时拾取/放置最多两个晶片。RORZE RR717L1521-3A6-231-2的电机由X-Y表、基于PC的控制器和EMPROM组成。X-Y Tablein与基于PC的控制器结合使用,通过提供开源编程工具自动进行数据传输和晶圆处理。基于PC的控制器控制和监视与资产性能相关的所有操作、记录数据和状态信号。还负责自动纠错和流量控制。EMPROM有助于微调与运动轮廓相关的参数。RR717L1521-3A6-231-2的模块化设计便于安装和维修。该模型由互锁设备和安全锁定设备提供支持，以保护人员和设备免遭滥用。它符合CE标准,包含FOUP检测,并且可以通过ESS、SPC和GEM等接口进行通信。RORZE RR717L1521-3A6-231-2重量为400千克,是一款经过验证且可靠的晶圆处理器,旨在帮助提高半导体生产过程中的生产率。它在大面积清洁室中提供高达600mm 300 mm晶片的自动、稳定和精确自动化。多用途系统由于其集成的控制单元，是在半导体制造和高科技工业中许多应用的理想解决方桉。