二手 RORZE RR8131-005-001 #293622755 待售

RORZE RR8131-005-001是用于半导体设备和其他精密工艺的多轴晶圆处理器。它非常适合需要极高精度和可靠性的应用。它能够将晶片的直径和厚度从.15mm到0.9mm从3"转移到8"。晶圆的传输速度和加速度/减速是可调的，重量只有12.6kg。RR8131-005-001采用了四轴旋转机构，使其能够以极高的精度传输和对齐晶片。此功能可确保12英寸晶片在0.1µm的公差范围内对齐。四轴旋转还允许它在X、Y、Z三个独立的轴上移动晶圆，其传递机构基于直接驱动电机，使其符合人体工程学，高效。此外，该模型还包括一个波纹管互锁，以防止颗粒和碎片污染。晶圆处理程序还具有ESD保护,可保护设备免受静电损坏。标准配置包括内置气流检查功能，用于监控运行过程中的气流。可以通过USB连接监视晶片处理程序的状态。RORZE RR8131-005-001配备了一个机动化的手臂，用于抓握控制，实现精确稳定的运动控制，以精确定位晶圆。它还标配了力感应功能，用于检测力随时间的变化并检测任何意外负载，以确保晶圆的精确处理和定位。它还设计为易于使用和维护。该模型具有内置教学功能的用户友好界面，无需额外编程即可轻松操作。此外,随附的维护套件可在必要时轻松更换部件。总体而言,RR8131-005-001是用于高精度和可靠晶圆处理应用的理想工具。其先进的特性和坚固的设计使其成为任何半导体或其他精密工艺的绝佳选择。