二手 RORZE RSC222 #9397075 待售
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RORZE RSC222是一款晶圆处理机器人,设计用于半导体行业的精细操作。它具有先进的机器人控制技术和晶片处理设备,可以移动各种尺寸的晶片(直径可达8英寸),同时处理多达6个晶片。该机器人在转移和对准晶片时能够保持较高的位置精度。RSC222具有三个自由度的柔性机械臂和可精确移动的集成线性滑梯。这种机械臂可以在两个轴上水平和垂直移动,同时绕第三轴(z轴)旋转以支持6轴操作。移动速度可以0.1 µm增量调节,允许快速、精确的运动。此外,该系统还配备了伺服电动机,可实现高速平稳运行,峰值速度为1,000毫米/秒。RORZE RSC222采用高速晶圆处理单元,最大移动速度为250 mm/s,加速度为400 m/s2。该机还包括一个强大的伺服控制器,提供一致的晶圆传输和移动。控制器允许在将晶片送入和送出晶片储存室时进行快速而精确的运动。而且,RSC222的晶圆处理工具配备了集成视觉资产,使其能够检测和精确定位晶圆。该模型还利用强大的近红外激光器进行晶圆识别和跟踪。这确保了可靠和均匀的晶片与机器人之间的传输。总体而言,RORZE RSC222是一种高度先进的晶圆处理机器人,具有强大而精细的机器人控制设备。它可以处理直径达8英寸的晶片,同时提供一致且快速的晶片传输,具有半导体工业所需的精确度和精确度。
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