二手 RORZE RSR160 #9281343 待售

RORZE RSR160是一种基于机器人的双车道自动晶圆处理器。它旨在提供有效和可靠的硅片转移，同时将污染和颗粒污染降至最低。RSR160由三个主要部件组成：机器人设备、物料处理系统和电源。机器人单元装有两个RZ-5X机器人和两个双车道周边导轨。机器人和周边导轨连接在一起，以便在站点之间转移晶圆。物料处理机由两个高速摩擦辊和四个传送带组成。滚筒和皮带输送机负责晶片从机器人工具转移到加工站的其他部件。电源是由外部电源提供的集成式低噪声直流无刷电动机。对RORZE RSR160进行了专门的校准,以快速、适当地识别和响应来自加工站的晶圆传输信号。该机器人资产可用于精确传输和排序不同大小和形状的晶片。此外，该模型还可提供内置的视觉设备，用于高精度的视觉引导拾取和放置操作。双车道输送机系统经过专门设计，确保晶片的平坦表面始终与上部导轨平行，并允许晶片与机器人的拾取臂精确平行对准。集成电源确保了机器人的平稳运行，最大限度地降低了闲置时间和伺服超出范围条件的风险。RSR160与各种晶圆加工设备兼容,例如蚀刻、清洁、抛光、测试和维修。该单元与现有晶圆处理系统快速、方便地集成在一起，也可以进行调整，以适应新的和特定的需求。这台机器的设计也是为了尽量减少对晶圆的灰尘伤害。它具有防尘密封，以保护晶片免受空气中粒子的伤害，以及一个收集空气中粒子的除尘箱。总之，RORZE RSR160晶片处理程序是一种可靠可靠的晶片处理方法。它性价比高，易于整合，在转移过程中能够减少颗粒、粉尘和污染。它的双车道轻量级设计使它具有移动性，其先进的视觉工具便于精确定位。总体而言,RSR160是高效、安全的晶圆处理的绝佳选择。