二手 RUDOLPH / AUGUST SWS #9235595 待售

由AUGUST Technologies制造的RUDOLPH/AUGUST SWS（基板晶片设备）是一种用于手动和自动化过程的晶片处理程序。它由两个自动开缝机器人、一个双宽晶片装载机、一个转运机器人和一个装有腔室的卸货站组成。AUGUST SWS的双宽晶片装载机设计用于容纳宽度高达两英寸的大型晶片。装载机可以同时处理4、5或6英寸晶片，并提供了一个模块化的索引机制，用于可靠的进料。系统中使用的转移机器人由两个线性加载臂组成，便于将晶片连续送入SPECTRO或任何其他加工机。转移机器人已经配备了防止转移过程中晶圆损坏的安全装置。这两个自动开缝机器人可用于在晶片上加载尺寸和质量均匀的缝隙。它们的设计目的是捕获各种宽度的缝隙和深度可达0.05英寸的缝隙，同时保持晶圆的完整性。每个机器人都有一个可变输出驱动器和一个限制晶圆解锁过程持续时间的安全互锁。该单元还设有一个腔室，适合在加工机器之间装卸晶片。该腔室具有可调参数，有效防止污染。总之，RUDOLPH SWS是一个晶圆处理程序，设计用于手动和自动化过程。它有一个双宽晶片装载机、两个自动开缝机器人、一个转移机器人以及一个适合在加工机器之间装卸晶片的腔室。这些组件结合在一起，创建了一个可靠和高效的晶圆处理机，能够提供质量最高的缝隙的均匀性。