二手 RUDOLPH / AUGUST WHS 300MM #9401134 待售

RUDOLPH/AUGUST WHS 300MM Wafer Handler （WHS）是为制造超大规模集成（ULSI）电路而设计的一种机器人接送处理器。这种广泛的处理程序可以将300毫米晶圆从一个加工站输送到下一个加工站，从而可以高效、精确地生产高质量的产品。WHS的特点是有一个双机器人手臂，它能够以3轴的配置运行，从而实现精确的运动控制。机械臂具有两个独立的马达，允许晶片的两步处理，包括在一个工作站内旋转它们进行面处理的选项。WHS配备了最新的真空和压力传感器，在放置和移动方面给出了绝对的精度。其广泛的高级软件选项使各种晶圆的精确和可重复的处理。WHS能够识别和处理小至200微米、高至1.2毫米的晶圆厚度。这样可以实现可重复的放置精度,减少成本和由于在任何给定点错位而造成的浪费。WHS具有直观的接口,允许程序检索和修改,而不会与系统断开连接。此功能还允许实时控制生产，允许统计控制站点给出指令而不受用户干扰。该系统进一步设计为与标准ULSI设备配合使用，如LDIE和NIE。WHS的尺寸为441 x 672 x 953毫米，重量为750公斤，与大多数生产设施兼容。尺寸的设计是为了确保最大生产力，同时仍然考虑到操作员的人体工程学。WHS具有很高的可靠性和效率，能够持续运作，即使在最恶劣的工作环境中也不会出现任何问题。WHS设计可容纳多达50个晶片，其处理速度高达每小时160个晶片。广泛的设计功能始终确保准确性和最佳性能,这意味着生产产量不会受到影响。此外，WHS带有内置的安全系统，使操作员能够舒适地监控操作，并在需要时轻松介入。AUGUST WHS 300MM Wafer Handler是现代生产线必不可少的设备,因为它可以高效地将ULSI晶片从一个站点传输到另一个站点,以绝对精确的方式引导它们完成制造过程的每个步骤。它的特点使得它成为任何需要高质量和严格标准的生产企业的宝贵资产。