二手 RUDOLPH / AUGUST WHS #293635033 待售
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RUDOLPH/AUGUST WHS是设计用于半导体制造过程的自动化晶圆处理程序。它是由主控制单元、输入/输出控制单元、机械臂以及各种输送机、航天飞机和塑料部件组成的集成设备。这种晶圆处理系统设计用于拾取、运输和放置各种尺寸的晶圆,并通过不同的制造过程阶段进行加工。AUGUST WHS的主控制单元负责控制整个单元并监控其性能和准确性。它在前面板上具有数字显示屏,可帮助用户管理机器。用户能够设置参数、启动和监视流程、调整速度和监视生产数据。输入/输出控制单元(IOCU)用于将机械臂引导到每个晶圆传输所需的确切位置。它利用编码器、传感器和其他数据输入来确保晶圆传输的精确移动。RUDOLPH WHS的机械臂是该工具的重要组成部分,负责在整个生产资产中快速、准确和安全地运输晶圆。它采用精密伺服电机和驱动电子设备的组合设计,使手臂能够精确移动。这样可以精确地将晶片放置到传送带和所需的精密加工站。此外,WHS还配备了多种输送机和航天飞机,旨在有效地在模型中的各个位置之间移动晶片。它们由高质量的塑料元件制成,使它们能够承受半导体制造环境的苛刻环境条件。输送机还配备了安全功能,保证人员安全。最后,RUDOLPH/AUGT WHS配备了高级编程,使其用户能够根据自己的需求和不同制造工艺的要求来修改命令和设置。这些修改可以快速轻松地完成,确保晶圆处理程序可以被各种各样的生产过程所利用。这使得AUGUST WHS成为许多半导体生产系统备受追捧的设备。
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