二手 SANKYO SR8240-0002CCR #9296842 待售

SANKYO SR8240-0002CCR是一台先进的晶圆处理机，设计用于高精度的加工和处理需求。它配备了两轴X-Y-Z运动设备、载荷传输系统以及用于处理200 mm以下晶片的真空卡盘。两轴X-Y-Z运动单元由两个线性轴X和Y组成,它们能够以± 0.01mm的分辨率连续移动。运动机还包括K轴，能够180°旋转以更好地定位和保持晶圆。真空卡盘采用嵌入式无刷直流电动机，控制晶片卡盘外力的精度，卡盘可通过力反馈来固定和释放容量最大达200 mm的晶片。SR8240-0002CCR还具有载荷传输工具,该工具包括安装在线性X-Y运动阶段的机械穿梭臂,以及在晶片在位置之间移动时运输和支撑晶片的几个组件。穿梭设备可用于晶片的送入和送出，确保晶片的精确处理和放置。这台机器的设计旨在确保安全和可靠性，以满足各种过程和处理需要。为确保安全，机器配备了当晶圆处理设备不在正确的操作位置时触发的安全互锁模型。此外，该机装有防亲和系统（Anti-Affinity System，简称AAS），用于监控和防止操作部件在机器设置、操作和维护过程中意外移动。总体而言，SANKYO SR8240-0002CCR是一个用途广泛、可靠的晶圆处理程序，提供精确的过程和处理能力。它的两轴X-Y-Z运动单元和载荷传输机使其能够以速度和精度处理大型晶片，而其安全和监控系统则确保了安全可靠的运行。