二手 SEIKO SEIKI D-Tran #9214878 待售

SEIKO SEIKI D-Tran是一种技术先进的晶圆处理器，旨在简化和优化晶圆基板的运输和转移过程。该工具用于半导体制造设施，减少污染，提高效率，提高基板生产吞吐量。它采用非接触式传输技术和直线电动机驱动器，可提供0.3微米的重复精度，从而实现晶圆和薄膜的精确和高效运动。D-Tran非常适合模具连接、晶圆粘合和其他自动过程等任务。它利用单臂转移机制，减少时间和空间，同时消除污染，提供清洁的操作环境。技术特点包括模块化底板和灵活的工具装配,使各种不同结构和尺寸的基板能够无缝处理。SEIKO SEIKI D-Tran的设计采用了六轴机器人设备，在向任何方向转移基板时都具备满足生产设施确切需求的专用模块的充分灵活性。精确的高速真空系统可最大程度地减少污染,并确保晶片和薄膜的安全传输,不会发生错位。除了高品质外，D-Tran也是一款高度可靠的工具，提供完整的系统集成和兼容性。该机配备了基于PID的控制机，最大限度地减少了温度、压力和速度的波动，使整个刀具的操作精确可靠。最后，SEIKO SEIKI D-Tran被设计用于性价比高的高速生产作业。设计方便安装、维护、操作，可集成到现有生产线中，无需资金投入或重大修改。为确保操作安全和可靠性,D-Tran的设计符合SEMI标准准则。