二手 SHIBUYA EH 182 #293585948 待售

SHIBUYA EH 182是一款高性能晶圆处理器，设计用于半导体晶圆的自动装卸。它主要用于半导体制造工艺，用于将晶片盒或前开式盒（FOC）送入和送出诸如蚀刻器、扩散炉和光刻室等工艺领域。EH 182具有8英寸、200毫米和300毫米晶圆的FOC能力，一次最多可处理8个盒式磁带。SHIBUYA EH 182由几个主要部件组成，包括机械臂、一套起重电机和一套轴承齿轮。机械臂的设计目的是将盒式磁带从缓冲区转移到机器人，而左侧马达的设计则是用来抬起机械臂。轴承齿轮用于在卡带操作过程中顺利进行机器人运动。EH 182配置了三种不同的传输类型：翻盖式、前开式和圆形穿梭式。翻盖转移使SHIBUYA EH 182能准确地将晶圆及其基板放置在内部处理腔室中，而前开转移则在腔室之间来回取出盒式磁带。圆形穿梭传输用于在工具之间传输卡带，并允许多个路由路径和多个卡带同时移动。除了传输功能外,EH 182还提供高级视觉功能,用于检查晶圆拾取和放置步骤中的任何缺陷。此功能可进一步保护您免受任何潜在损害。SHIBUYA EH 182配备了用户友好的功能，以方便自动化过程，如简单的设置和手动命令。它的内置智能使EH 182能够以最小的用户界面以适当的方式对任务做出反应。SHIBUYA EH 182是一款可靠、高性能的晶圆处理程序，提供平滑、准确和可重复的机器人运动。它的高级功能和定制功能使其非常适合自动化和手动环境。结合其经济高效的设计，EH 182是满足半导体处理需求的理想解决方桉。