二手 SHIBUYA EH 520 #9253524 待售

SHIBUYA EH 520是一款用于半导体和平板器件生产线的全自动晶圆处理器。它旨在通过热处理、切丁和清洁快速、高效和精确地处理各种直径、厚度和模具配置的晶片。该装置具有按人体工程学设计的机器人臂，用于精确处理晶圆，以及用于精确定位的激光检测系统。EH 520使用专有的计算机视觉导航系统在整个基板处理区域上定位和传输晶片。该装置采用高精度的X-Y线性电动机级，用激光二极管牢固地固定和精确地扫描晶片表面。扫描分辨率对于允许晶片在X和Y方向上精确移动至关重要。SHIBUYA EH 520还配备了夹紧机构，在激光定位后紧紧握住无基板变形的晶片。EH 520有一个集成的可编程处理部分。这部分用于一次大量晶片的并行传输，允许更高的吞吐量。该设备还运行一个集成的"palletization"算法，减少将晶片从一个工艺区域移动到另一个工艺区域所需的时间。SHIBUYA EH 520设计低调，为各种应用领域提供了一系列的灵活性。该设备采用模块化设计,易于维护和扩展。它为运输、分类和清洁晶片提供了广泛的选择，并且可以处理各种热和机械加工阶段，如氧化、电镀、蚀刻等。EH 520提供卓越的精确度和令人印象深刻的每小时600晶圆的工艺速率。它以非常低的噪声水平运行,并且经过严格的质量和性能测试,能够满足最高的可靠性标准。该设备允许与生产线中的其他设备轻松集成,并且可以持续多年,最大限度地降低维护成本,并允许生产线以最高效率运行。