二手 SHINKO LM-ARM-CONT2 #293622429 待售

SHINKO LM-ARM-CONT2是为半导体生产和研究应用而设计的晶圆处理器。该装置在最佳的环境条件下自动化半导体晶片的加载、卸载和定位。它在超高真空环境下操作，可处理直径达4英寸的150毫米和200毫米晶圆。LM-ARM-CONT2的核心是一个双臂机器人，设计用于在装卸作业过程中对晶片进行平稳、精确的控制。它由两个独立的电动机提供动力，并配有一个高度敏感的光学传感器，该传感器根据安装的晶片的参数进行预定的运动。机器人可以配置为处理不同类型的晶片，包括盒式晶片和玻璃基板。另一个特点是在加载或卸载时能够在两个位置旋转晶片，从而最大限度地减少对晶片的潜在损害。SHINKO LM-ARM-CONT2的环境室确保了广泛的加工温度和压力设置，从-50°C到500°C，从0.01 Torr到1大气压。此外，该设备还配备了先进的控制系统，可提供安全可靠的操作。控制系统具有可定制的自动化过程，如晶圆预处理和后处理，以及用于晶圆精确对准的高精度网格。为了减少维护时间，LM-ARM-CONT2配备了两个无维护的非接触密封件，确保机器人的寿命长。该机器人还具有自动切割功能，能够精确切割易碎晶片。最后，可选的迷你真空控制系统允许用户在晶圆处理过程中调节真空水平。SHINKO LM-ARM-CONT2是一款用途广泛、可靠的晶圆处理器,旨在提供高通量、卓越的精度和最大的自动化半导体处理灵活性。这种高效可靠的设备可轻松集成到多供应商安装中,非常适合先进的生产和研究环境。