二手 STAR CYS-800FIII-12 #9176567 待售

STAR CYS-800FIII-12 Wafer Handler是一款设计用于半导体行业的半自动、功能齐全的晶圆加工设备。该系统能够处理不同尺寸的晶片，直径从2英寸到12英寸，并装在紧凑的大型机中。大型机可以配置为同时支持多达12个晶片,并且包含晶片处理和处理所需的所有组件。该单元的核心部件包括用于移动晶片的输送机、用于识别图案晶片的视觉工具、最多六个不同机器人臂的工业机器人以及用于测量晶片温度的高温计。资产还包括一个集成的用户界面，允许操作员监视、配置和控制晶圆处理过程的各个方面。输送机模型能够在工艺和机器人臂之间运输晶片，向加工站供应晶片并在循环结束时沉积在冷却室中。视觉设备能够读取晶片表面并识别图样和形状以检测有缺陷的晶片。机器人手臂又配备了6轴机械手臂，可用于精确定位和拨放操作。该高温计用于测量腔内温度，能够检测任何温度变化，可用于调谐和优化晶圆处理过程。此外，该系统还具有用于紧急停车和其他安全检查的内置安全协议。Wafer Handler中组件CYS-800FIII-12集成旨在最大限度地减少对体力劳动的需求,确保可重复性和质量控制,并为加工晶片提供安全可靠的环境。该单元适用于研发和生产级应用中的大容量晶片加工。