二手 STAUBLI RS80 #9109373 待售
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STAUBLI RS80是一种晶片处理程序，旨在为转移半导体晶片提供高精度的单臂操作。该设备包括一个由力控制的6轴机械臂和7个马达，可以精确定位晶圆。机器人的驱动系统以线性电动机为基础，为用户提供高速、高加速度和高分辨率。处理单元可以支撑直径最大为8英寸的单个晶片。它还具有处理各种厚度和配置的多个晶片的能力。晶片处理端效应器设计为在处理过程中不压紧晶片而握住晶片，从而将晶片断裂的风险降至最低。此外，机器人手臂还装有保护外壳，以保护其免受环境危害。RS80还配备了一系列安全功能。这些措施包括：安全互锁，防止手臂在使用者进入防护装置时移动；紧急停止开关，以在紧急情况下使手臂迅速停顿；轻型窗帘机，防止机器人手臂进入限制区。除了安全功能外,STAUBLI RS80还采用悬臂电机驱动,最大限度地减少了脚印,并便于维护和安装。该机器人由先进的闭环工具提供动力，该工具可消除反冲并减少振动和干扰，从而提高精度。这个机器人臂可以使用多种软件语言进行编程，包括RobotControl™，这是STAUBLI提供的一种专有语言，用于控制他们的机器人。机器人也与PC控制系统兼容，允许用户从自己的机器上控制机器人。总体而言,RS80是一种高性能、高精度的晶圆处理资产,非常适合半导体生产环境中使用。其安全特性、受力控制的运动能力和一系列软件程序使其成为自动晶圆处理操作的理想选择。
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