二手 STAUBLI RX130 #293767434 待售

Stäubli STAUBLI RX130是一个半导体晶圆处理器，设计用于传输和处理直径达300 mm的晶圆。RX130允许为各种应用程序（包括光电、MEMS、CMOS和其他需要洁净室环境的高精度流程）快速准确地处理晶圆。STAUBLI RX130采用模块化设计,具有灵活性和可调节性。晶圆处理程序由一个端点夹具、一个枢轴臂、两个倾斜执行器和一个用于同步所有运动的中央控制单元组成。端点夹持器设计用于将晶片固定到位,而枢轴臂设计为将晶片旋转到所需位置。倾斜执行器对每个晶片的精确方向提供精确的控制，并调整晶片相对于其原有倾斜位置的倾斜角度。RX130晶片处理程序设计为在低振动和低噪声的情况下运行,非常适合敏感清洁环境中的晶片处理。晶圆处理器还包括自润滑元件，减少了定期维护的需要，可以延长该处理器的使用寿命。此外,STAUBLI RX130还配备了一系列安全功能,确保晶圆处理程序在封闭的安全区域内运行,并随时监控其正常工作和位置。此外，集成的最先进的控制器使用户能够为晶圆处理程序编程任意数量的晶圆处理任务。此控制器允许用户控制晶圆传输的速度、坐标点和端点。此外,控制器还配备了警报、监控系统和传感器,以检测任何异常活动并向用户发出警报。总体而言，Stäubli RX130是一个用途广泛、可靠的晶圆处理程序，设计用于在洁净室环境中传输和处理直径达300 mm的晶圆。它具有模块化的灵活性设计,并采用低振动和低噪声级别以及自润滑组件进行设计,以确保使用寿命长。包含的最先进的控制器使用户能够对晶圆传输进行编程,并提供安全监控和警报以检测异常活动或功能。