二手 STAUBLI RX60 L #9022312 待售

STAUBLI RX60 L是一款高性能晶圆处理机器人，设计用于在半导体制造过程中输送多达600毫米晶圆基板。它是一款工业级多轴机器人手臂，专为高通量生产优质、精准的产品量身定制。RX60 L具有直观、可编程的教学挂件,可快速设置和操作。该机器人旨在为晶圆重新映射、现场对准、模模粘合、悬浮模工以及其他晶圆处理和检查任务提供高性能和灵活性。其健壮的6轴设计具有高达610mm的延伸范围，最大速度为3.2 m/s2。X/Y为0.03mm, Z轴为0.02mm,具有很高的重复性精度。它还更加重视表管理、晶圆放置精度和晶圆处理安全性。STAUBLI RX60 L包含可提供3D检查或标记模式跟踪以提高准确性和过程控制的内部视觉组件。易于使用且可靠的RX60 L是高端制造环境的完美补充,可提高生产效率,同时降低运营成本。其安全、受密码保护的多用户环境为用户提供了最大的便利和灵活性。它还得到了全面维护计划的支持,该计划为快速故障排除和修复提供了必要的工具和支持。STAUBLI RX60 L非常适合于生产半导体工作，提供快速、平稳的操作以及令人印象深刻的机芯和灵活性。其直观的编程环境，加上先进的机器人技术，使其成为广泛应用的理想选择。RX60 L具有坚固的设计和可靠的性能,为在具有挑战性的生产环境中操纵和运输晶片基板提供了卓越的支持。