二手 STAUBLI RX60 #9205956 待售

STAUBLI RX60是设计用于半导体制造应用的晶圆处理器。该设备配备了简单、紧凑的设计，并拥有坚固的组件，能够精确、可靠地处理晶圆。RX60包含了多种关键特性,包括双轴运动控制、精确定位能力和接受各种晶圆尺寸的能力。它的多轴设计允许水平和垂直运动，可以容纳一系列不同类型的晶圆，包括单面或双面、圆形、正方形或矩形。STAUBLI RX60配备了自动晶圆处理臂，能够支撑多达200个晶圆位置。手臂由阳极氧化铝和不锈钢构成，并由伺服电机系统提供动力，以确保精确、可重复的运动。此外,手臂还具有气动真空系统,可牢固地固定和释放晶片。RX60的定位精度也非常精确，可重复性精度为0.04mm，分辨率为0.002mm。此外,该设备能够处理60m/s的最大速度,从而能够快速高效地处理晶圆。为了增强安全性，STAUBLI RX60配备了多种安全功能，包括紧急停止按钮、脱离式安全轮、互锁机构。此外，该装置被评定用于危险区域，如洁净室和其他含有挥发性化合物的地点。总之，RX60是一个高度可靠和精确的晶圆处理程序，适用于各种应用。其耐用的设计、精确的定位精度、高速容量和安全机制使其成为半导体制造环境中的绝佳选择。