二手 STAUBLI RX60 #9205957 待售

Stäubli STAUBLI RX60是用于自动化半导体制造过程的多轴晶圆处理程序。该晶片处理程序采用精确的多轴运动系统,具有高度可靠和坚固的设计,能够安全、精确地处理直径150 mm的6个晶片。RX60设计为直接安装在生产线环境中的自动化设备平台上,并为晶片加载、卸载、筛选和相关过程提供优化的解决方桉。STAUBLI RX60 Wafer Handler利用步进电机提供卓越的运动能力,并提供伺服电机选项以提供更高的精度。所有轴都通过单个定时带驱动,并且可以单独控制以实现运动同步。一系列的齿轮比可提供不同的可重复性水平和优化的速度。这款晶圆处理器配备了选择性的电气和机械晶圆处理系统，以及两种晶圆夹紧系统的选择。机动化臂采用机动化晶片夹紧机构，确保晶片的牢固附着，防止运动漂移。此外,气动晶片夹紧机构还具有柔和的触摸功能,可将晶片轻轻地靠在手臂上并提供额外的稳定性。所有组件都设计为免费维护,并安装在紧凑的车身中,非常适合空间受限的设备。RX60 Wafer Handler具有模块化wulf模块,便于与各种设备平台集成,以及高级远程接口,可用于监视和控制各种参数。Wulf模块还支持同时输入和输出，允许连接多台机器以增加便利。Stäubli STAUBLI RX60是一个先进的晶圆处理器，专门为自动化半导体生产过程的准确性和可靠性而设计。它具有紧凑的模块化设计,具有一系列高效的运动能力,可选的电气和机械处理系统,以及气动或机动化晶片夹紧功能,以确保晶片在不发生运动漂移的情况下安全传输。先进的远程接口可以方便地监视和控制所有参数,并为晶片加载、卸载、筛选和关联的半导体过程提供了最佳解决方桉。