二手 STAUBLI RX60 #9205977 待售
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STAUBLI RX60晶片处理程序是自动晶片传输和处理的自动化平台。它专为非接触式标准4英寸晶片的半自动处理而设计。RX60配备了强大的32位控制设备和双电动机,可实现最高的精度和精确度。该系统最多可容纳15个晶片,采用非接触晶片传输机制,使晶片的处理更加准确和温和。运输机构采用不锈钢导轨、承重轴和齿条齿轮传动装置,用于优越的晶圆运动。STAUBLI RX60具有多种增强性能的功能。这些特点包括吸力可调的集成真空单元、晶圆识别的视觉机、保证晶圆温度均匀的温度控制机构以及湿度管理的湿度控制机构。该工具还可以与外部输入/输出资产集成,以便于与其他系统接口。RX60是市场上最可靠、最可靠的晶圆处理解决方桉之一。为确保可靠性和性能,该模型具有多种功能,如多功能电源、冗余运动控制以及最多可存储32个设置的数据存储设施。该设备还拥有令人印象深刻的98.3%的正常运行时间。STAUBLI RX60提供卓越的晶圆处理解决方桉,具有令人印象深刻的一系列特性和卓越的可靠性。它是任何寻求经济高效、可靠的解决方桉以满足晶圆处理需求的半导体制造工厂的理想选择。
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