二手 STAUBLI RX60 #9236508 待售
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STAUBLI RX60是一个晶圆处理机器人系统,设计用于半导体、生物技术、微电子等行业的实验室使用。RX60机器人能够处理直径不超过8英寸的晶圆,并且可以编程用于宏级别的自动传输。STAUBLI RX60是一种高效、多轴、高速的机器人,它采用三角形的结构,结合了两个线性轴、一个旋转轴和一个倾斜轴,以实现精确的运动。这使得它能够准确有效地对齐和传输晶片。RX60机器人专为洁净环境设计,采用不锈钢制造,具有防腐蚀性能。这样可以确保晶片不会转移任何颗粒物或其他污染物。该系统配备了允许轻松编程运动的软件。它还能够在包括手动、编程和教学模式在内的多种模式下操作。在手动模式下,机器人无需编程即可手动移动操作。在编程模式下,机器人会响应脚本中给出的命令。教学模式允许操作员在记录位置和命令的同时手动移动机器人,以后可以作为程序使用。STAUBLI RX60机器人还连接到各种控制器和PLC以及各种视觉系统和现场总线网络。这使它能够在自动化过程中与其他设备和系统进行通信。RX60还具有多种安全功能,例如传感器、关闭装置和内置的自检例程,以确保晶片处理安全,并且机器人不会损坏或弯曲晶片。这对于洁净室也很重要,以减少污染晶片和其他物品的可能性。此外,机器人的设计符合人体工程学,易于使用。总体而言,STAUBLI RX60是一种功能强大、高效的晶圆处理系统,设计用于洁净室和实验室环境。它强大的结构和先进的编程能力使其成为各种行业的理想选择。
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