二手 STAUBLI RX90 LCRfsi #9255544 待售

STAUBLE STAUBLI RX90 LCRfsi是用于自动运输、检查和计量系统的晶圆处理程序。它被设计用来转移晶片和其他基材的形状或材料，以最小的失真快速和准确。其独特的LCR（线性笛卡尔机器人）设计确保了平稳、快速的移动和无与伦比的精度。它使用专有的Smooth Spindle Drive （SSD）沿着X、Y、Z三个轴创建线性运动，这使得机器人可以向上移动到5,000毫米/秒的速度，所有轴的分辨率都超过1微米。该RX90还配备了力反应式悬架（FRS）系统,该系统可自动保持一致控制的抓地力,无论基板尺寸或形状如何,并确保在运输过程中牢固地抓住基板。这减少了在机器人的抓地力中刮擦、脱落或以其他方式损坏基板的风险。它还具有集成视觉系统，能够检查和测量分辨率高达1.5 μ m的基板。RX90的高度精确的LCR设计也让它在前向和反向运动中都能保持总共16度的自由度。这有助于最大限度地减少其他机器人系统中常见的摆动,并确保晶圆始终在任何给定时间点精确定位。此外，它的设计确保了整个传输路径上均匀的基板支撑，减少了振动和碰撞的风险。总体而言,STAUBLE RX90 LCRfsi是一款创新且用途广泛的晶圆处理器,专为半导体行业中的高端工艺而设计。其先进的LCR设计、直观的力无功悬挂和集成视觉系统使其成为任何制造实验室的理想选择。它能够以最高的效率和精确度传输和检查基板,速度高达5,000毫米/秒,分辨率高达1 μ米。