二手 STAUBLI RX90 #9009146 待售
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ID: 9009146
优质的: 1997
6-axis robot arm
Nominal load capacity: 6 kg
Maximum load: 11 kg
Reach: 985 mm
Repeatability: 0.02 mm
Mounting: floor or ceiling
Rated robot motion speed:
Axis 1: 240º/s
Axis 2: 200º/s
Axis 3: 286º/s
Axis 4: 401º/s
Axis 5: 320º/s
Axis 6: 580º/s
Power: 208 V, 3 phase, 4000 VA
Cabinet has outputs for 4 additional axes (3 were used with Adept linear modules)
Controller hours: 57944
Broken interlock wiring
Includes:
Staubli CS7 RX90 control cabinet
Staubli RX90 robot arm
Applied Robotics QuickSTOP QS-100NP-T3 quick change hand
Software: Adept AIM System Version 3.1D1 with Robot, ADX, MotionWare, Cell Statistics, PM Trackign modules
1997 vintage.
STAUBLI RX90 Wafer Handler是一个机器人，设计用于在工厂自动化中实现安全高效的晶片处理，需要一次传输多个晶片。该机器人由五个部件组成：执行器、控制设备、晶片夹持器、晶片支撑板和底板。该执行器由经过优化的双臂系统和三个高性能电机组成，每个电机最多可支撑255Kg个。控制单元是一种高性能的伺服控制机器，可预编程，允许快速精确的移动。晶片支撑板由不锈钢制成，并配有防止氧化和耐污染物的矿物质填充聚碳酸酯涂层。晶片夹持器被设计成在晶片上提供一个安全的保持，而不会损坏晶片边缘或在过程中造成翘曲。底板提供了一个将机器人部件安装到工厂车间的安全平台。机器人可以在X、Y、Z轴中以三个自由度移动，以及围绕底板旋转。它能够以高达600mm/min的速度精确传输多达四个8英寸晶片。此外，机器人的动态触角达到610mm，能够将晶片抬高至700 mm。STAUBLI RX 90晶片处理程序的设计是为了最大限度地提高晶片处理过程的效率，并限制污染和损坏晶片的风险。它还具有先进的安全功能和方便操作的人机界面。RX90 Wafer Handler是工厂自动化的可靠和先进的解决方桉。其卓越的性能和坚固的设计使其非常适合各种应用。凭借其高速性能、先进的安全特性和优化的设计，RX 90晶圆处理程序是广泛的晶圆处理操作的绝佳选择。
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