二手 STAUBLI RX90 #9257269 待售
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Stäubli STAUBLI RX90晶片处理程序是一个自动化工具,设计用于管理晶片堆栈和自动在洁净室环境中进行晶片传输。其主要目的是简化前端和后端半导体工艺的晶圆传输任务。Stäubli STAUBLI RX 90是一款紧凑的晶圆处理程序,具有低调的外形,使其能够适应狭窄的空间。利用集成的机械臂,它能够通过精确控制将晶片堆栈从一个位置运输到另一个位置。它还能够高角度到达晶片堆栈,即使在高高的天花板建筑中也能方便安全地进入晶片堆栈。RX90具有双EVG晶片抓取器,允许同时使用多个抓取器。这样可以提高晶圆传输速率,使设备能够更高效地运行。软件控制系统确保晶片安全可靠地运输到其指定位置,而一系列功能有助于确保可靠的连接并防止灰尘污染。此外,还提供各种附件来扩展系统的功能。StäubliRX 90旨在满足前端和后端生产流程的需求。除了标准的晶圆传输能力外,该单元还能处理特殊的晶圆,比如边高边宽或大小不同的晶圆。它还能够承载带有栅极氧化物层的晶片堆栈,以便在必要时优化气流。Stäubli STAUBLI RX 90的模块化设计还允许在必要时添加各种额外功能。它灵活的体系结构使用户能够根据他们的流程要求配置他们的系统,而健壮的编码器则允许准确定位。该机还配备了专门的点控制工具,可以检测每个晶片堆栈在运输过程中的确切位置。StäubliSTAUBLI RX 90用途非常广泛,可用于各种清洁环境。无论是制造晶片、供应还是库存控制,还是全面场地管理,Stäubli RX90都是为了提供可靠高效的晶片运输解决方桉。它兼具特点和特点,是前端和后端半导体工艺的理想选择。
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