二手 STAUBLI RX90B CR #9209736 待售

STAUBLI RX90B CR是用于200 mm和300 mm晶片的水平集成全回路晶片处理程序。它是一种先进的晶圆处理设备，设计用于自动通过洁净室或实验室环境传输晶圆。RX90B CR具有闭环控制功能,具有多过程功能,可用于高精度、高容量的晶圆处理应用。该系统配有一个可编程的机械臂、一个基于视觉的摄像机单元和一个彻底的PLC/HMI（可编程逻辑控制器/人机接口），用于自动监测和跟踪晶片。机器的机械臂的活动范围可达500毫米,并有七个轴,在自动运输和存储过程中,可进行高达400克的精细晶圆处理。此外,机器人的设计还可以防止在转移过程中由于碰撞而造成的损坏。机器人每小时最多可以传输250个晶圆，或者在多机床中每小时最多传输3600个晶圆。该资产还提供基于视觉的摄像头模型和全自动跟踪设备，确保晶圆识别和传输的完全自动化。这是通过光学识别和条形码读取活动相结合来实现的。此外，系统有各种安全系统，包括E-STOP和安全门联锁，防止危险情况，保护人员免受伤害。最后,该单元完全可编程,这意味着您可以对所有进程和设置进行有效编程。这包括运动、路径和速度数据,并与PLC/HMI结合,创建了一个干净高效的晶圆传输机器。由于可以对工具进行专门编程和配置以满足任何客户需求,因此可以根据任何环境定制该工具。资产也极其可靠，并提供恒定的反馈，确保每次不间断和安全的晶圆传输过程。