二手 STAUBLI STS 100-82 #178863 待售

ID: 178863
System.
Stäubli STAUBLI STS 100-82晶片处理程序是一种专门的机器人装置,旨在方便半导体生产线中晶片基板的精确装卸。STS 100-82设计用于半导体生产环境中晶片的手动装卸。它具有两个独立的臂,每个臂支撑两个运动轴。底座安装在低调的架子上,非常适合低间隙安装。机器人使用高精度传感器和控制器操作,使其能够以极高的精度执行晶圆处理过程。用户可以对机器人进行编程,以便调整手臂的速度和运动,以及施加在晶片上的压力。该设备能够同时抓握和释放多达八个晶片。该系统装有集成的高分辨率摄像头,用户可以在开始生产之前确保晶片基板的正确对准。这有助于最大限度地减少基材工艺中的任何潜在错误。STAUBLI STS 100-82晶片处理器的放置精度极佳,x和y轴偏差± 3.2µm,z轴偏差± 0.02mm。这样可以确保晶片工艺中不会出现基板不对齐的情况。机器人的预编程也可以保存并重新加载,以便自动化生产启动。这使得设置时间最短,从而实现了不同生产需求之间的精确和快速转换。可通过编程图形用户界面命令机器人。用户可以使用此界面与机器人交互,其中包括速度和加速度调整以及位置控制的命令。该单元还配备了安全控制器,可防止不受控制的移动,并在发生任何常见故障时自动执行安全关闭。这保证了操作员的安全和机器人机器的稳定性。总体而言,Stäubli STS 100-82晶圆处理程序是半导体行业精密晶圆处理工艺的绝佳选择。该工具提供了高可重复性精度、图形用户界面和全面的安全组件。自动化的预编程功能减少了设置时间,并提供了简化的工作流程,最终最大限度地减少了停机时间并提高了工作效率。
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