二手 STAUBLI TX60 L #293768326 待售

STAUBLI TX60 L是用于半导体制造的最先进的晶圆处理器。这种先进的晶圆处理自动化设备提供高精度晶圆传输控制，有助于优化半导体晶圆厂的生产过程。该系统由可靠、伺服驱动的STAUBLI MPS-6多轴定位单元提供动力。STAUBLI TX60L能够支持多达10个用于不同晶圆尺寸（包括8英寸、12英寸和更大）的单光圈加载端口。它支持多达四个机器人臂，用于高效和同时的真空晶片装卸。TX60 L还具有扫描和加载功能,使其能够在传输晶片之前自动检测晶片的存在。它可以配置为支持各种机器人路径，自定义晶圆传输、对齐和操作过程。它带有符合人体工程学的图形用户界面（GUI）,便于远程计算机监控。它还包括一个高精度和可重复性的对齐工具。此外,它的可扩展体系结构使操作员能够轻松添加更多组件,如转移臂、加载端口和工作站。TX60L还具有先进的安全功能，以提高操作安全性。它配备了STAUBLI安全资产（SSS1002），符合国际公认的机器人使用安全标准，EN ISO 13849-1。此外,STAUBLI TX60 L的设计目的是在处理敏感晶片时最大限度地减少环境污染和产品损坏。其先进的晶圆处理真空模型确保了准确的过程，同时防止了空气泄漏。总体而言，通用的STAUBLI TX60L满足了半导体行业对晶圆处理自动化日益增长的需求。它提供精确的晶圆运动，提高生产力和提高安全性，使其成为半导体操作的理想选择。