二手 STAUBLI TX60 #9191514 待售

STAUBLI TX60是为半导体生产而设计的先进晶圆处理设备。系统可以处理直径达300 mm的晶片。这种晶圆机械手具有高度精确、运动控制的管线，可容纳多达60个晶圆，使其能够快速准确地将晶圆从一个工作站传输到另一个工作站。TX 60的主体由两个伺服驱动的手臂组成，可以在两个独立的轴上铰接。这样可以进行精确的移动,同时保持稳定性和准确性。臂与臂之间的单个线性轴相辅相成，使单位的整体运动范围超过30度。主轴还配备了真空夹紧机，用于晶片的安全处理。STAUBLI TX60由STAUBLI专有的CNC-IC Tool控制,这是一种具有高度精确协调能力的专用运动控制资产。这使得各种运动轨迹具有非常低的误差范围,从而确保了精确和一致的过程。该模型还有两个集成传感器，可以检测错位和变形，允许快速和准确的校正。此外,TX60还具有直观的控制面板、四个触摸敏感按钮、清晰的显示屏和图形用户界面。这使得用户更容易监控设备操作和设置流程。该系统还集成了其他组件，例如用于更好晶圆处理的6轴机械手和用于各种功能的附加模块，如晶圆排序。STAUBLI TX60是一个先进的晶圆处理单元，设计的最大精度和性能。它结合了运动控制功能、传感器和直观的用户界面，使其成为半导体生产的理想选择。凭借坚固可靠的部件，机器一定能满足最苛刻的要求。